用途和特点：

可广泛适用于计量实验室对高精度平面的平面度检测和鉴定。能根据不同的要求打印出各种平面度测试的彩色等高图以及三维立体透视图。并给出波峰波谷值（PV），最大面形误差（EM），均方根值（RMS），光圈数等面形评价参数。人体温度对测量可靠性的影响为最小。

技术参数：

1. 第一标准平面（A面），工作直径D1=φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）

2. 第二标准平面（B面），工作直径D2=φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）

3. 准直系统：工作直径φ146mm，孔径F/2.8，焦距f=400mm

4. 测微目镜：焦距f=16.7mm；

5. 视场角2W=40°；放大倍数β=15X

6. 成像物镜D=7，F=16

7. 干涉室尺：φ480×380×285mm

8. 光源规格：ZN18（He-Ne）

仪器的配套性：

改型的XQ15-GI激光平面干涉仪、1/3英寸CCD、14″ 监视器、扫描驱动器、驱动器电源、电脑、EPSON720彩色打印机。

电脑最低配置要求：CPU PIII以上，128兆内存，16兆显存显卡，视频捕捉卡。

三、主要技术参数

1、第一标准平面（A面），不镀膜。工作直径：D1=Φ146mm

不平度小于0.02μm(λ/30)。

2、第二标准平面（B面），不镀膜。工作直径：D2=Φ140mm

不平度小于0.03μm(λ/20)。

3、准直系统：孔径F/2.8，工作直径：D1=Φ146mm

焦距：f=400mm.

4、测微目镜：焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X，视场角2w=40o

成像物镜：I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10

f=16 f=23 f=37

5、干涉室尺寸：深260*宽300*190mm。

6、光源规格：激光ZN18（He-Ne）。

7、仪器的外形尺寸：长*宽*高 350*400*720mm。

8、仪器重量：100公斤。

XQ15-GII数字式激光平面干涉仪